专注集成电路全链条国产替代，东方晶源加速冲刺科创板IPO

发布时间：2026-10-10 10:41:38  来源：  发布人： 阅读量：

据上交所公告,东方晶源科创板IPO于7月16日进入审核问询阶段,9月29日披露对上交所科创板IPO审核问询函的回复,以及更新申报稿。

东方晶源科创板IPO的提速背后是核心部件自主化与客户端验证的双重突破。据问询函回复显示,东方晶源在电子光学系统(EOS)这一电子束量检测设备核心零部件上实现自研,新一代产品已进入头部客户先进产线。

EOS(电子光学系统)是电子束量检测设备的核心零部件之一,直接决定电子束的成像质量与设备稳定性。据QYR数据,2025年全球电子束量检测设备市场前四大供应商分别为应用材料、日立高新、阿斯麦-汉民微测和科磊半导体,四家公司合计占据超过85%的全球市场份额,关键技术国产化亟需突破。

对此,作为国内集成电路良率管理领军企业的东方晶源,锚定国家集成电路产业自主可控战略需求,持续夯实技术储备。据首轮问询函回复显示,公司新一代搭载全新自研EOS的电子束量检测设备CD-SEM SEpA-c505、EBI SEpA-i635、DR-SEM SEpA-r655和HV-SEM SEpA-h755已于2025年下半年陆续出机至客户G,经过长期验证和压力测试,成为客户G电子束量检测设备重要国产供应商。

2026年5月至6月,东方晶源取得客户G批量订单,合计不含税金额1.53亿元。批量重复订单的落地,意味着相关设备在精度、产能、稳定性、一致性等方面均已获得客户认可,印证其性能与国际厂商主流设备相当。在客户端验证与批量订单持续落地的同时,东方晶源电子束量检测装备的产业化规模也进一步扩大,2026年9月28日,公司纳米级电子束量检测装备累计出机超百余台,反映出国产电子束量检测装备正从技术突破向规模化产业应用延伸。

硬核突破的背后是雄厚的技术积淀。据招股书数据显示,截至2026年6月30日,东方晶源拥有260项授权发明专利(境内196项、境外64项)、85项授权实用新型专利、13项授权外观设计专利。公司先后承担1项国家科技重大专项(02专项)、2项国家科技重大专项(02专项)课题/子课题、4项科技攻关项目、1项工信部工业强基项目等十余项国家/地方科研项目,同时获国家级专精特新重点“小巨人”、国家级高新技术企业,其中CD-SEM、EBI和PanGen均获评北京市首台(套)重大技术装备。

本次IPO,东方晶源拟募资25亿元,投向高端半导体良率管理设备、EDA工具研发及产业化项目。在未来,东方晶源将继续坚持以技术为核心竞争力,持续精进产品性能,为推动国产半导体装备与工业软件的产业化落地进程贡献更大力量。